Tergeo系列臺(tái)式等離子清洗機(jī)
等離子體清洗、蝕刻、表面處理
產(chǎn)生氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣、CF4、SF6、環(huán)境空氣或其他混合氣體等離子體，以灰化光刻膠、在
圖案化后去渣、蝕刻二氧化硅和氮化物、去除碳?xì)浠衔锖推渌砻嫖廴疚?、改變表面能并提高結(jié)合
強(qiáng)度。Tergeo系列等離子體系統(tǒng)是需要在低壓下操作的真空等離子體系統(tǒng)。槍膛直徑為4.3英寸/110
毫米、6.3英寸/160毫米和9英寸/230毫米。腔體的深度為11英寸/280毫米或13.4英寸/340毫米。這
是一種低成本、高性能的實(shí)驗(yàn)室等離子體清潔器，建立在等離子和離子束技術(shù)組在勞倫斯伯克利國(guó)家
實(shí)驗(yàn)室。
Tergeo系列等離子體系統(tǒng)在全球?qū)W術(shù)界廣的受的好的評(píng)。這兩年提到太地等離子體系統(tǒng)的科學(xué)論文爆了！
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建了多功能、可靠、性能可重復(fù)的等離子系統(tǒng)。
更新時(shí)間：2023-11-14 
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